客製電漿系統
PECVD/CVD/PVD薄膜製程的應用廣泛應用於半導體、光學和其他材料的製造,主要包括物理氣相沉積和化學氣相沉積等技術,尤其是PECVD能夠在高真空環境下快速且經濟地沉積金屬,適合大規模生產。瑞昫科技客製電漿系統的服務是針對產官學實驗室及研發單位的需求,做客製化的設備整合設計開發。