電漿系統整合
電漿態主要由氣體在高電、磁場下離子化所形成的集合，其中包括電子、正離子與中性分子。電漿態物質具有極高的活性及能量，連帶激發一系列連鎖反應，包含離子化、激發、再結合、解離與電荷轉移等。利用高能量可裂解氣體的特性，電漿製程產生無限的可能性，由於其高能量密度及反應特性，人們開始將電漿應用於半導體.封裝測試.光電.面板.醫療各產業當中。
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