半導體與電漿設備：射頻（RF）及直流（DC）電源銷售與替代方案

射頻產生器（RF Generator）與直流電源供應器（DC Power Supply）是電漿系統中技術門檻最高、維修與置換成本最昂貴的核心組件。 為協助半導體廠、封測廠及產官學實驗室有效降低設備維護成本（CAPEX/OPEX），瑞昫科技提供多款原廠認證中古電源（Refurbished Power Supply）、替代電源（Alternative Power Solutions）販售與技術整合服務，確保機台高穩定度輸出與高性價比運作。

💡 為什麼選擇瑞昫科技的中古/替代電源方案？

• 大幅降低維護成本： 提供遠低於原廠新機價格的優質中古機與替換方案，協助企業實現大幅降本。

• 嚴格測試與完整保固： 所有中古電源出貨前皆經過高功率負載測試、阻抗匹配測試與漏率檢測，並提供完整售後保固與技術支援。

• 現貨供應與快速替換： 縮短原廠交期過長帶來的停機風險，確保產線持續運轉。

⚡ 核心電源產品線與支援型號

1. RF Generator 射頻產生器（中古/新品銷售）

專為薄膜沉積（PECVD）、等離子蝕刻（Etching）及電漿清洗（Plasma Cleaning）設計，支援主流高頻（如 13.56 MHz、27.12 MHz、40 MHz）及中低頻射頻電源：

• AE (Advanced Energy) 品牌系列： 包含 AE RFG Series、AE APEX Series、AE Paramount Series 等熱門型號。

• 其他主流品牌與客製化替代電源： 支援 Kyosan、Daihen、ENI 等多品牌電源之置換與升級。

2. DC Power Supply 直流電源供應器

廣泛應用於 PVD 磁控濺鍍（Sputtering）、偏壓（Bias）控制及陽極電解/鍍膜系統：

• AE (Advanced Energy) 品牌系列： 包含 AE MDX Series、AE PINNACLE Series、AE Pinnacle Plus+ 等高穩定度直流電源。

• 脈衝直流（Pulsed DC）與客製電源： 提供各種功率等級（kW）之中古高壓/脈衝直流電源現貨供應。

其他種類銷售如下載專區

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